[发明专利]一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置在审
| 申请号： | 202111681487.0 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114291786A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 巢炎;李彬;黄伟业 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周雷雷 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁场与振动结合的硅片微纳米结构制备装置，包括衔铁圈、漆包线绕线组、反应釜、振动器和夹紧托盘；衔铁圈固定在反应釜的侧壁上；三个漆包线绕线组绕在衔铁圈上；夹紧推盘固定在反应釜底部；反应釜底部与振动器的输出端固定连接；振动器和三个漆包线绕线组分别连接一个电源。本发明通过改变三个漆包线绕线组通入电流的频率、相位和幅值，能获得不同的磁场分布，使得导磁性金属粒子周围团聚的腐蚀液中的酸能在硅片上刻蚀出不同的预设图案；本发明结构简单，在硅片加工时具有较高的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 振动 结合 硅片 纳米 结构 制备 装置 | ||
【主权项】：
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