[发明专利]动能辅助激光诱导等离子体加工装置及方法在审
| 申请号： | 202111678478.6 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114311356A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 姜峰;陈嘉林;卢希钊;温秋玲;陆静;江安娜 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;H05H1/24 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了动能辅助激光诱导等离子体加工装置及方法，加工装置包括激光器、透镜组件、工作台、夹具、金属靶材和驱动器；该夹具和驱动器装设在工作台上，该金属靶材安装在驱动器上且通过驱动器带动金属靶材绕自身轴线转动；该透明工件装接在夹具上且透明工件间隔位于金属靶材之上；该激光器产生的激光束经透镜组件、透明工件聚焦在绕自身轴线转动之金属靶材偏心位置且与金属靶材发生相互作用，通过相互作用产生的等离子体向透明工件背面转移以刻蚀加工透明工件。它具有如下优点：利于材料去除，有效提高材料去除率。 | ||
| 搜索关键词： | 动能 辅助 激光 诱导 等离子体 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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