[发明专利]一种晶圆竖直刷洗装置在审
| 申请号： | 202111676179.9 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114472307A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 曹自立;李长坤;孙传恽 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆竖直刷洗装置，其包括喷液组件，所述喷液组件包括喷嘴，所述喷嘴的喷射方向与晶圆的旋转方向相匹配；所述喷嘴的数量为多个，以朝向不同方向及区域喷射流体，使得喷射的流体覆盖旋转晶圆的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 竖直 刷洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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