[发明专利]一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202111671898.1 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114262872A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;张欠男;魏铁峰;岳万祥;张学华;缪磊 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;B22F9/04;B22F3/15;B22F7/08;C22C21/00;C22C27/06;C23G1/10;C23G1/12 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 荣红颖;刘春成 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法，该复合靶材具有双层结构，上层以铬铝硼合金靶材为基体，底层是铜背板，上层结合于底层上；铬铝硼合金靶材按原子百分比由以下成分组成：Cr：19‑70％，Al：20‑80％，B：0‑30％且B不为0；该制备方法采用CrB |
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| 搜索关键词： | 一种 铬铝硼 合金 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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