[发明专利]一种KrF光刻胶及其制备方法在审
| 申请号： | 202111650135.9 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114253072A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 陈韦帆;徐亮;郑祥飞;黄巍 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞红电子化学品有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李鑫伟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及光刻胶的领域，具体公开了一种KrF光刻胶及其制备方法。KrF光刻胶，由包括以下重量份的原料制备而成：聚对羟基苯乙烯系树脂100份、光致酸产生剂1‑5份、酚醛树脂2‑20份以及溶剂400‑600份。KrF光刻胶的制备方法，包括以下步骤：按配方取各原料、混合均匀以及过滤灌装。本申请通过酚醛树脂的网络状分子结构，而使酚醛树脂和聚对羟基苯乙烯系树脂相互交联在一起，形成一个稳定的整体；同时，通过酚醛树脂与基材之间良好的润湿性，而使酚醛树脂与基材形成稳定的连接；通过酚醛树脂的桥梁作用，能够提高聚对羟基苯乙烯系树脂和基材之间的结合性，从而大大改善了光刻图形倒塌的问题，提高了光刻图形的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 krf 光刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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