[发明专利]一种激光剥离装置和激光剥离方法在审
| 申请号： | 202111639664.9 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114248023A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 贾富强;张晨阳;丘国雄;陈镇辉;李巍伟;陈银榕;冯涣 | 申请（专利权）人： | 南光高科（厦门）激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/57;H01L21/683 |
| 代理公司： | 天津盈佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12224 | 代理人： | 孙宝芸 |
| 地址： | 361021 福建省厦门市集*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光剥离装置和激光剥离方法，所述装置包括激光器和整形器；激光器用于产生激光束；激光束的传输光路上设置整形器；整形器用于将激光束转换为平顶光激光束，平顶光激光束分布成点状、线状或面状；平顶光激光束的传输光路上设置相对运动扫描部件；相对运动扫描部件用于将平顶光激光束与待剥离样品之间产生至少一个轴向上的相对运动，形成扫描激光点、扫描激光线或扫描激光面；其能够降低对应用层材料的损伤，提升良品率，提高基底的重复利用率，降低半导体产业的生产成本；同时提高剥离效率，提高加工速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 剥离 装置 方法 | ||
【主权项】：
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