[发明专利]直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉在审
| 申请号： | 202111639257.8 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114369865A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 丁亚国;李玲玲;梁万亮;马国忠;顾燕滨 | 申请（专利权）人： | 宁夏申和新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750000 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置，属于提高晶棒收率工艺的技术领域，所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°，当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°时，使得整个热场的温度得到改变，使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近，使得晶棒拉出后，晶棒的尾部的截面尽量接近水平，进而晶棒的收率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉单晶炉 水冷 装置 单晶炉 | ||
【主权项】：
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