[发明专利]一种柔性薄膜式自驱动多功能传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111630839.X 申请日: 2021-12-28
公开(公告)号: CN114323407B 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 苏元捷;陆海军;谢光忠;李惟雄;陈春旭;潘虹;黎威志;太惠玲;蒋亚东 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01L9/08 分类号: G01L9/08;G01N27/12
代理公司: 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 代理人: 霍淑利
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种柔性薄膜式自驱动多功能传感器,包括柔性基底、气体导管、多功能敏感薄膜、叉指电极和弹性膜。该自驱动多功能传感器将能量收集单元与气体敏感单元结合在一起,利用通入气体时气压的增大使压电基多功能敏感薄膜产生形变,从而为自身提供能量,以自发主动地测量通入待测气体的浓度与压强。该传感器采用了中心对称式器件结构以最大化提升无序分布的静电纺丝的换能效率,同时利用气体化学吸附与压电效应的耦合作用,将气体吸附过程主动地加载到压电纳米发电机的输出电信号中,因此不需要额外的供电系统即可实现对待测气体浓度和气压的同时测量。本发明提出的传感器制备简单、成本低廉、结构新颖、实用性高且充分利用了气体流动的动能。
搜索关键词: 一种 柔性 薄膜 驱动 多功能 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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