[发明专利]测定图像传感器量子效率的方法、装置、设备和介质有效
| 申请号： | 202111629837.9 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114295565B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 宋汉城;温建新;张悦强;叶红波 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种测定图像传感器量子效率的方法，包括：图像传感器通过光纤面板接收来自光源的连续光谱；图像传感器分别在暗场和曝光条件下每间隔单位积分时间获取一幅图像，得到暗场图像组和曝光图像组；将曝光图像组的像素值与暗场图像组的像素值相减得到单位积分时间的数据差值；获取连续光谱经若干特定波长滤光后的图像，通过图像传感器定位特定波长在连续光谱中的特定位置；通过特定位置和连续光谱及其与光功率的对应关系，拟合得到光功率曲线并获取第一波长的光功率值；根据光功率值、第一波长、像元尺寸、单位积分时间、数据差值和转换增益，计算图像传感器对应第一波长的量子效率，该方法用于精确测定图像传感器的量子效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 图像传感器 量子 效率 方法 装置 设备 介质 | ||
【主权项】：
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