[发明专利]一种光波导垂直端面位置定准方法有效
| 申请号： | 202111614156.5 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114326324B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 史强;赵臻青;宋炳生;朱林伟 | 申请（专利权）人： | 烟台魔技纳米科技有限公司;华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 李舜江 |
| 地址： | 264010 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光波导垂直端面位置定准方法，包括以下步骤：S1：测量探测光的定位界面与直写光的实际加工位置之间的偏差，并定义该偏差为offset_z偏差;S2：测量探测光的定位位置与实际位置之间的偏差，并定义该偏差为aberration_z偏差；S3：探测光的实际焦点值为探测值与offset_z偏差值、aberration_z偏差值之和。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 垂直 端面 位置 定准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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