[发明专利]低相干光三片混合集成式角速度检测系统及方法有效
| 申请号： | 202111597250.4 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114280321B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 刘霜;刘路;马慧莲 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P3/36 | 分类号： | G01P3/36 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 郑海峰 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低相干光三片混合集成式角速度检测系统及方法。本发明中利用谐振腔在不同旋转角速度下具有不同的滤波特性，通过检测顺、逆时针光束经过谐振腔后光功率的变化来实现角速度的检测。本发明采用了混合集成的思路将低相干光源及光电探测器模块、耦合器及推挽式Y分支模块、光波导谐振腔模块异质集成到同一硅基底上。本发明中利用低相干光源作为系统光源，降低了包括偏振噪声在内的许多光学寄生效应，从而提高了角速度检测系统的精度及其稳定性；同时采用三片混合集成的方式，极大的减小了系统的体积，符合小型化的发展趋势。 | ||
| 搜索关键词： | 相干光 混合 集成 角速度 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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