[发明专利]基于柔性触觉电容的三维压力传感器在审
| 申请号： | 202111591586.X | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114486046A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 覃缘;郎锦墀;杨昊也;来增源;李金澎;蒲治华 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01L5/165 | 分类号： | G01L5/165 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 300072 天津市南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于柔性触觉电容的三维压力传感器，其球形接触端头位于柔性上部基底的上方，所述电容上部电极层、极间介质层、电容下部电极层、柔性下部基底层从上到下依次位于三维压力传感器柔性上部基底的下方，所述电容上部电极层位于三维压力传感器柔性上部基底层的下表面，所述韧性支撑圆柱、韧性支撑垫片与极间介质层处于同层、共同构成柔性支架层，其排布为韧性支撑圆柱位于极间介质层四顶角处的间隙区域内，韧性支撑垫片位于极间介质层中心处的间隙区域内；所述传感器可以分别感知施加的法向力、剪切力和拉力，实现较大维度的压力传感，具有较高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 触觉 电容 三维 压力传感器 | ||
【主权项】：
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