[发明专利]一种铌酸镁单晶纳米片及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202111591180.1 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114262934B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 秦敬凯;朱成义;肖惠;徐成彦 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C30B25/10;C30B25/16;C30B29/30;H01L29/51;B82Y10/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 申素霞 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铌酸镁单晶纳米片及其制备方法和应用，属于功能材料技术领域。本发明采用化学气相传输法结合氟金云母片的空间限域作用，并利用氟金云母片本身提供MgO前驱体，成功制备得到了铌酸镁单晶纳米片，且厚度均匀，表面平整，结晶性好，可以很好地运用于二维场效应晶体管的栅极绝缘层，提高晶体管中的载流子迁移率，进而提升器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸镁单晶 纳米 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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