[发明专利]一种柔性薄膜温度传感器、制备方法及物性检测方法在审
| 申请号： | 202111588365.7 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114235192A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 陈香;张劲;李星辉;刘泉;邹杰;范余银 | 申请（专利权）人： | 湖南航天天麓新材料检测有限责任公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01N23/2251;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/58;C30B23/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 长沙德恒三权知识产权代理事务所(普通合伙) 43229 | 代理人： | 徐仰贵 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
一种柔性薄膜温度传感器，由底部往上依次包括柔性基底层、绝缘层、功能层以及保护层，所述绝缘层与功能层间设置有过渡层，所述过渡层为Ta |
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| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 温度传感器 制备 方法 物性 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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