[发明专利]一种制备超密集热点空间结构的方法有效

专利信息
申请号: 202111580593.X 申请日: 2021-12-22
公开(公告)号: CN114231930B 公开(公告)日: 2023-10-17
发明(设计)人: 张永军;梁龙杰;温嘉红;赵晓宇;刘佳;张坤;孔哲;王雅新 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/58;B82Y40/00;C23C14/10;C23C14/14
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 杨舟涛
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种制备超密集热点空间结构的方法,本发明以银、二氧化硅共溅射为基础,使用HF腐蚀二氧化硅形成密集缝隙热点为思路制备上下两层金属结构。用旋涂的方法将掺杂银纳米颗粒的PVA胶搭建在两层金属膜中间,以控制两层金属膜间距,这样掺杂在PVA胶中银纳米颗粒和上下两层金属颗粒薄膜形成交错的空间结构。最后对样品进行化学腐蚀,有效超密集热点的空间结构。本发明使得银纳米颗粒在空间错杂排布,大大增强其拉曼强度,形成空间超密集热点分布。采用了物理化学共同处理的手段。提出一个崭新的实验方案设计并制备了所要获得的纳米图案。
搜索关键词: 一种 制备 密集 热点 空间结构 方法
【主权项】:
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