[发明专利]一种制备超密集热点空间结构的方法有效
| 申请号: | 202111580593.X | 申请日: | 2021-12-22 |
| 公开(公告)号: | CN114231930B | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
| 发明(设计)人: | 张永军;梁龙杰;温嘉红;赵晓宇;刘佳;张坤;孔哲;王雅新 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/58;B82Y40/00;C23C14/10;C23C14/14 |
| 代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
| 地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种制备超密集热点空间结构的方法,本发明以银、二氧化硅共溅射为基础,使用HF腐蚀二氧化硅形成密集缝隙热点为思路制备上下两层金属结构。用旋涂的方法将掺杂银纳米颗粒的PVA胶搭建在两层金属膜中间,以控制两层金属膜间距,这样掺杂在PVA胶中银纳米颗粒和上下两层金属颗粒薄膜形成交错的空间结构。最后对样品进行化学腐蚀,有效超密集热点的空间结构。本发明使得银纳米颗粒在空间错杂排布,大大增强其拉曼强度,形成空间超密集热点分布。采用了物理化学共同处理的手段。提出一个崭新的实验方案设计并制备了所要获得的纳米图案。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 制备 密集 热点 空间结构 方法 | ||
【主权项】:
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