[发明专利]一种化学机械研磨用保持环及其粘接方法在审
| 申请号： | 202111563271.4 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114178981A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;惠宏业;王学泽;张薇 | 申请（专利权）人： | 上海江丰平芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24C1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 201400 上海市奉贤区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种化学机械研磨用保持环及其粘接方法，所述粘接方法包括：将保持环的两部分结构的表面进行喷砂处理，然后进行清洗；将清洗后的保持环的两部分结构的粘接面上涂抹粘接剂，然后将两者的粘接面扣合并固定；将固定后的保持环进行加热固化，得到粘接后的保持环。本发明所述方法通过对保持环的两部分结构进行喷砂、清洗等前处理工艺，增加表面粗糙度和比表面积，再经涂抹粘接剂后扣合固定，避免在粘接剂固化前造成两者相对位置的移动，调节粘接工艺参数，可缩短粘接时间，提高生产效率，并保持较高的粘接强度；粘接时间的减少，可减少夹具的占用时间，从而提高夹具的使用效率；所述方法操作简单，节约成本，可有效扩展应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 保持 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海江丰平芯电子科技有限公司，未经上海江丰平芯电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111563271.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种方便拆装组合式的高效传动轴
- 下一篇：一种内置机械式废气旁通涡轮增压器
