[发明专利]一种氧化铟锡钽镱粉体及其制备方法与应用在审

专利信息
申请号: 202111548080.0 申请日: 2021-12-15
公开(公告)号: CN114277334A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 张来稳;邵学亮;李开杰;王奇峰;李晴晴 申请(专利权)人: 先导薄膜材料(广东)有限公司
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;郝传鑫
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种氧化铟锡钽镱粉体及其制备方法与应用,属于氧化铟掺杂粉体制备技术领域;本发明的氧化铟锡钽镱粉体的结构式为In1‑x‑y‑zSnxTayYbzO1.5+0.5x+y;其中,0.001≤x≤0.05,0.001≤y≤0.05,0.001≤z≤0.05;所述粉体的D50=0.905‑1.08μm;本发明的技术方案提供的氧化铟锡钽镱粉体,选择锡、钽和镱三个元素作为掺杂元素掺入氧化铟粉体中,能够制备得到成分均一、粒径分布窄的氧化铟锡钽镱粉体;本发明提供的氧化铟锡钽镱粉体的制备工艺简单、制备效率高,因此能直接应用于工业生产,制备得到的产品可用于制备高密度、高均匀度、具备优异光电特性的氧化铟锡钽镱靶材。
搜索关键词: 一种 氧化 铟锡钽镱粉体 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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