[发明专利]一种单晶炉坩埚提升下轴称重装置有效
| 申请号： | 202111530936.1 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114318506B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 尹嘉琦;曹玉宝;江佳飞;辛珊;张怿;李欢;胡亚涛 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06;G01G19/00;G01M3/26;G08B21/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于晶体生长技术领域，具体的说是一种单晶炉坩埚提升下轴称重装置，包括坩埚基座，所述坩埚基座内部通过螺纹连接有丝杆，所述丝杆下端固定有埚升组件，所述坩埚基座内部贯通连接有坩埚轴，所述坩埚轴外部套接有波纹管，所述波纹管下端固定有磁流体安装板，所述磁流体安装板内部固定有埚转磁流体；本发明通过在坩埚轴的底部设置磁流体安装板与压力检测机构，可以有效的通过下轴称重的方式对坩埚的重量进行实时的监测，通过系统对比坩埚内的质量变化与生产晶体的质量变化，可以达到以下有益效果：可自动对坩埚炉下轴进行称重并判断是否出现泄露的情况；可直接反馈埚中剩余硅料质量；可以判断结晶情况；可以用于埚中硅料质量校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 坩埚 提升 称重 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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