[发明专利]一种在蓝宝石衬底铜抛后清洗的方法在审
| 申请号： | 202111518270.8 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114425534A | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 徐良;余雅俊;占俊杰;陈素春;孟秀清;阳明益;童雪峰 | 申请（专利权）人： | 金华博蓝特新材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;C11D1/22;C11D1/14;C11D3/20;C11D3/22;C11D3/36;C11D3/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 张晓玲 |
| 地址： | 321000 浙江省金华市婺城区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在蓝宝石衬底铜抛后清洗的方法，该方法采用磺酸微腐蚀、纳米除油乳化剂乳化和超声波清洗相结合，有效清除了蓝宝石衬底上的黏附颗粒、有机物、金属污染物，以及特别是公认的难以清除的顽强氧化物，从而提高了蓝宝石衬底的稳定性，为蓝宝石衬底下一步工艺奠定了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 铜抛后 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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