[发明专利]一种直排式罗茨泵在审
申请号: | 202111513888.5 | 申请日: | 2021-12-06 |
公开(公告)号: | CN114320917A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 李小金;李正清;刘筱文;王毅;蔡宇宏;韩仙虎 | 申请(专利权)人: | 兰州空间技术物理研究所 |
主分类号: | F04C23/02 | 分类号: | F04C23/02;F04C23/00;F04C18/12;F04C25/02;F04C29/00 |
代理公司: | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人: | 饶小平 |
地址: | 730013 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请涉及真空技术领域,具体而言,涉及一种直排式罗茨泵,包括依次连接的第一腔体、第二腔体以及第三腔体,第一腔体、第二腔体以及第三腔体之间设置有密封胶圈,第一腔体的第一出气口通过连接管与第三腔体的第二进气口连通。本申请通过一个电机带动在两个不同压缩比的抽空腔体分段压缩抽空气体,采用两级压缩实现了罗茨泵在大气压下开始抽气,解决了常规罗茨泵在运行过程中须配置旋片泵、滑阀泵等前级油泵的问题,减少了对真空环境的油气污染,真正实现了罗茨泵机组的无油洁净空间,为罗茨泵机组、特别是大抽速罗茨泵机组提供了洁净真空的环境。 | ||
搜索关键词: | 一种 直排式罗茨泵 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所,未经兰州空间技术物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111513888.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。