[发明专利]异质结太阳电池的制备方法、异质结太阳电池及应用

摘要

本发明提供了一种异质结太阳电池的制备方法、异质结太阳电池及应用。该异质结太阳电池的制备方法包括如下步骤：通过气体源在硅衬底的第一表面上沉积第一钝化层，第一钝化层的基材为氢化非晶硅，在沉积第一钝化层的过程中逐渐向气体源中通入二氧化碳，且随沉积的第一钝化层的厚度增加，控制二氧化碳在气体源中的掺杂比例逐渐上升。相较于不具有杂原子呈梯度浓度分布结构的异质结太阳电池，在转化效率处于同一档位时，上述制备方法制备得到的异质结太阳电池具有更高的CTM值。