[发明专利]微型流量传感器的单片集成设计方法、制造方法及传感器在审
| 申请号： | 202111490269.9 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114186529A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 许威;李芝娟;方泽涛 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398;B81B7/02;B81C1/00;G06F117/08;G06F119/08 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 涂年影 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了微型流量传感器的单片集成设计方法、制造方法及传感器。单片集成设计方法包括：构建微加热器的热电耦合等效模型；对微带线组件进行传热解析分析得到热学信息，其中微带线组件由微加热器及两对热敏电阻组成；根据微加热器的热电耦合等效模型及恒温差控制电路结构构建第一等效电路模型；并构建与两对热敏电阻对应的第二等效电路模型；对第一等效电路模型及第二等效电路模型进行力‑热‑电耦合得到系统级等效电路模型。通过上述方法，可耦合具有热物理性质的传热解析模型建立与温湿度关联的非线性系统级等效模型，以实现高效模拟温湿度变化对传感器输出的影响，并可基于系统级模型快速对MEMS微结构及CMOS接口电路进行协同设计与优化。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 流量传感器 单片 集成 设计 方法 制造 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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