[发明专利]快速湿度传感器和用于校准快速湿度传感器的方法在审
| 申请号： | 202111490054.7 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114624296A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | J·勒帕宁;M·杰洛宁 | 申请（专利权）人： | 芬兰维萨拉有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01K13/00;G01K7/16 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 亓云;顾嘉运 |
| 地址： | 芬兰赫*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的示例方面，提供了一种形成在包括传感器框架(21)的衬底(12)上的传感器结构(19)，传感器框架(21)包括用于传感器的电触点(1‑6)，传感器框架(21)内的有源传感器(22)至少包括电容式湿度传感器(9)。根据本发明，有源传感器(22)仅通过支撑有源传感器(22)的薄隔热层(14)连接到传感器框架(23)，该隔热层(14)包括来自传感器框架(21)的电触点。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 湿度 传感器 用于 校准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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