[发明专利]一种约瑟夫森结、约瑟夫森结阵列、其制备方法和用途有效
| 申请号： | 202111480542.X | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN113921691B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 杨丽娜;冯加贵;熊康林;贾浩林;吴艳伏 | 申请（专利权）人： | 材料科学姑苏实验室 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01L39/22;H01L39/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王艳斋 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种约瑟夫森结、约瑟夫森结阵列、其制备方法和用途，所述约瑟夫森结的制备方法包括：选用A面蓝宝石作为衬底，基于小的晶格错配度，可制备出表面平整的准外延Ta（110）超导薄膜，作为约瑟夫森结下电极；进一步地，借助氧化或者沉积方法形成致密、稳定且可控的Ta |
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| 搜索关键词： | 一种 约瑟夫 阵列 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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