[发明专利]冷却组件及其控制方法、晶体生长装置有效
| 申请号： | 202111478128.5 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114150371B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 黄末;陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵静 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种冷却组件及其控制方法、晶体生长装置，冷却组件用于晶体生长装置，晶体生长装置还包括炉体和坩埚，坩埚设于炉体内且限定出盛放空间，冷却组件设于炉体内且位于坩埚的上方，冷却组件用于对晶体进行冷却，冷却组件包括：冷却套，冷却套适于套设于晶体外，且冷却套的内周壁和晶体的外周壁间隔开，冷却套限定出冷却通道，冷却通道具有出气口，出气口适于朝向坩埚内熔体的固液界面处吹送冷却气体，出气口处的气流方向、气流流速和气流流量中的至少一个可调节，其中，气流方向可调节以使气流流向与水平面之间的夹角可调节。根据本发明的冷却组件，便于实现对晶体生长直径的及时控制，提升了晶体生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 组件 及其 控制 方法 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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