[发明专利]一种基于高载流子浓度导电薄膜的气体传感架构及传感器有效
| 申请号： | 202111476732.4 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114112973B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 徐梁格;张智博;杨磊;夏菲;高岗;朱嘉琦 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 王文雅 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种基于高载流子浓度导电薄膜的气体传感架构及传感器，该气体传感架构包括：第一气体吸附层、第二气体吸附层、周期微纳米金属层、支撑层和功能层；功能层为透明导电薄膜，透明导电薄膜的载流子浓度≥1×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 载流子 浓度 导电 薄膜 气体 传感 架构 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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