[发明专利]一种基于F-SRU网络的纳米电子器件内部微结构快速检测方法有效
| 申请号： | 202111459199.0 | 申请日： | 2021-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN114295908B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 昆山毅普腾自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01N23/00;B81C99/00;G06N20/00 |
| 代理公司： | 西安研创天下知识产权代理事务所(普通合伙) 61239 | 代理人： | 张红哲 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于F‑SRU网络的纳米电子器件内部微结构快速检测方法，包括以下步骤：步骤1：针对各类纳电子器件，在给定的电子束工作条件以及物理参数条件下，采用数值计算获得不同微结构对应的二次电子电流、电子束感生电流，形成二次电子电流及电子束感生电流的数据集；步骤2：构建F‑SRU网络模型，由计算得到的二次电子电流及电子束感生电流的数据集，建立器件内部微结构与相关电流之间的对应关系；步骤3：搭建测量平台，快速测量检测对象的二次电子电流及电子束感生电流；步骤4：以二次电子电流以及电子束感生电流的测量结果为F‑SRU模型的输入，由模型的输出重构内部微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 sru 网络 纳米 电子器件 内部 微结构 快速 检测 方法 | ||
【主权项】：
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