[发明专利]一种具有抗单粒子烧毁能力的功率器件在审
| 申请号： | 202111457429.X | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114171578A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 王颖;黄昊;李兴冀;杨剑群;包梦恬;曹菲 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/165;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 | 代理人： | 方亚兵 |
| 地址： | 116000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明公开一种具有抗单粒子烧毁能力的功率器件，包括衬底，在所述衬底下方设置有漏极，所述衬底上方设置有硅外延层，所述硅外延层上方设置有Si |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 粒子 烧毁 能力 功率 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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