[发明专利]信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法在审
申请号: | 202111445710.1 | 申请日: | 2018-03-13 |
公开(公告)号: | CN114151343A | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 舞鴫惠治;杉浦哲郎;臼井克明;畠山雅规;本间知佳子;大须贺透;岩崎弘一;林介元 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | F04C28/28 | 分类号: | F04C28/28;G05B19/042 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法,信息处理装置具备:读取部,该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件,存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件;检测部,该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据;及比较部,该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较,比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。 | ||
搜索关键词: | 信息处理 装置 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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