[发明专利]一种电子显微及能谱原理实验教学装置

摘要

本发明提供一种电子显微及能谱原理实验教学装置，属于实验教学领域，包括电子光路演示模块、可变真空操作演示模块、电子束通道开关操作演示模块、电子束聚焦过程演示模块、电子束扫描成像过程演示模块；通过演示电子显微镜镜筒内电子信号的产生及汇聚过程，使学生了解电子光源的产生机理、电子束汇聚方法及汇聚过程电子束斑直径的变化，可进行电镜操作步骤的演示，方便进行物镜的种类及应用特点、能谱、电子束内容的教学理、物镜的种类、电子与样品相互关系及能谱内容进行教学，利用本发明的装置可以对扫描电子显微过程的原理进行直观、简单且全面地讲解与演示，经长期使用验证，该装置是一种高效的教学装置。