[发明专利]一种非均质跃变表面形貌自动测量装置及方法有效
| 申请号： | 202111438174.2 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN113847888B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 刘丽佳;石振东;马骅;张霖;白金玺;马可;杨一;柴立群;任寰 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 邓芸 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非均质跃变表面形貌自动测量装置及方法，涉及形貌测量技术领域，测量装置通过建立光谱轴向色差系统，使得满足共焦条件的单色光的波长与轴向距离形成映射，对光谱仪测得的单色光波长进行分析即可实现表面距离测量，待测样品固定在与轴向垂直的二维运动导轨平台上，通过控制二维运动导轨运动扫描测量待测样品表面，进而实现表面形貌测量；测量方法通过对导轨扫描轨迹规划，在距离数据采集前先对光强信息进行采集，并据此对光谱仪的参数进行动态调整；本发明有效解决了非均质跃变表面在形貌测量过程中，因材质吸光特性差异导致光强差异较大，进而导致距离数据缺失或异常的技术问题，实现非均质跃变表面形貌自动测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非均质跃变 表面 形貌 自动 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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