[发明专利]承载台边缘位置平坦度的监控方法在审
| 申请号： | 202111437339.4 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114089609A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 王朝辉;陆捷 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种承载台边缘位置平坦度的监控方法，包括：通过对焦系统对承载台上的超平坦硅片进行曝光及量测；建立对应于超平坦硅片的中心区域的各个量测点的套刻精度与失焦值的线性关系，获取线性关系的斜率；调节对焦系统的焦深；对超平坦硅片的边缘区域进行曝光及量测，根据各个量测点的套刻精度、焦深的调节量及斜率计算对应于超平坦硅片的边缘区域的各个量测点的失焦值；将对应于超平坦硅片的中心区域与对应于超平坦硅片的边缘区域的各个量测点的失焦值进行作差比较，若差值处于阈值范围内，则表示承载台的边缘位置的平坦度良好。通过调节对焦系统的焦深，能够将超平坦硅片的边缘区域纳入量程，实现对承载台边缘位置平坦度的监控。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 边缘 位置 平坦 监控 方法 | ||
【主权项】：
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