[发明专利]一种大口径元件表面微缺陷检测与修复的自动化工艺方法有效
| 申请号： | 202111428288.9 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114113114B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 陈明君;赵林杰;尹朝阳;程健;袁晓东;郑万国;廖威;王海军;张传超 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 黑龙江立超同创知识产权代理有限责任公司 23217 | 代理人： | 杨立超 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种大口径元件表面微缺陷检测与修复的自动化工艺方法，涉及工程光学技术领域，用以解决现有技术对于大口径元件表面微缺陷的检测精度低和修复效率低的问题。本发明的技术要点包括：利用暗场相机采集元件表面图像并处理，实现对元件表面多个缺陷区域的粗定位；利用显微相机按照粗定位获得的每个缺陷区域位置采集包含单个缺陷区域的图像并处理，实现对元件表面多个缺陷区域的精定位；利用激光修复装置对多个缺陷区域进行修复；修复完成后对多个修复坑进行修复效果检测。本发明实现了大口径元件表面微缺陷的自动化检测与修复，有效缩短了元件修复时间，减少人工参与程度，为工程上大批量修复光学元件提供了技术支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 元件 表面 缺陷 检测 修复 自动化 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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