[发明专利]大口径熔石英光学元件表面微缺陷的自动化激光修复方法有效
| 申请号： | 202111428110.4 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114113111B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 陈明君;尹朝阳;赵林杰;程健;袁晓东;郑万国;廖威;王海军;张传超 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 黑龙江立超同创知识产权代理有限责任公司 23217 | 代理人： | 杨立超 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 大口径熔石英光学元件表面微缺陷的自动化激光修复方法，涉及工程光学技术领域，用以解决现有修复方法存在自动化程度低且效率低下的问题。本发明的技术要点包括：根据元件表面缺陷区域的位置信息和尺寸信息确定修复策略；依据修复策略，利用激光修复装置对元件表面缺陷区域进行修复。进一步地，以修复坑间允许的最小距离作为距离阈值，判断各个缺陷区域之间的交联程度，交联程度大的缺陷区域采用多缺陷修复策略，交联程度小的缺陷区域采用单缺陷修复策略。本发明修复策略制定、修复文件生成以及相应参数激光的输出等过程均实现了自动化，不仅节省大量时间，还大大降低了操作错误率。本发明可应用于对元件表面缺陷的自动修复中。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 石英 光学 元件 表面 缺陷 自动化 激光 修复 方法 | ||
【主权项】：
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