[发明专利]全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法在审
| 申请号： | 202111410353.5 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN113985071A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 全方位 热源 摆式 微机 加速度计 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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