[发明专利]全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法在审
| 申请号： | 202111410352.0 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN113985070A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。 | ||
| 搜索关键词： | 全方位 热源 摆式 微机 加速度计 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京信息科技大学，未经北京信息科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111410352.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
