[发明专利]一种电场力驱动的悬臂式微型电场传感器有效
| 申请号： | 202111393023.X | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114113812B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 何金良;韩志飞;胡军;余占清 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R1/02;G01R1/18 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于电场传感技术领域的一种电场力驱动的悬臂式微型电场传感器。该传感器包括固定区域、悬臂、金属电极、空腔、压阻材料和打线区域；其中，悬臂的一端固定在固定区域上，另一端设置金属电极；悬臂的周围设置空腔以保证悬臂自由振动；固定区域与悬臂的连接处设置压阻材料，压阻材料通过打线区域与外界测试单元连接；所述打线区域设置在固定区域上，通过金属线与金属电极和压阻材料相连。本发明所设计的传感器具有体积小、成本低、易于批量生产的优点，同时分辨率高、灵敏度高、线性度高、测量范围广、频率响应好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电场 驱动 悬臂 式微 传感器 | ||
【主权项】：
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