[发明专利]动态随机存取存储器结构及其制造方法在审
| 申请号: | 202111385118.7 | 申请日: | 2021-11-22 |
| 公开(公告)号: | CN116096072A | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
| 发明(设计)人: | 黄凯隽 | 申请(专利权)人: | 力晶积成电子制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
| 地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明公开一种动态随机存取存储器结构,包括基底、埋入式字线结构、位线结构、接触窗、多个间隙壁与接垫。埋入式字线结构位于基底中。位线结构位于埋入式字线结构的一侧的基底上。接触窗位于埋入式字线结构的另一侧的基底上。间隙壁位于接触窗的两侧。接垫位于接触窗上,且位于相邻两个间隙壁之间。 | ||
| 搜索关键词: | 动态 随机存取存储器 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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