[发明专利]一种新型硅基混合材料集成电光调制器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111384554.2 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114035349A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 马超;黄秋元;周鹏 | 申请（专利权）人： | 武汉普赛斯电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035;G02F1/21;G02F1/225 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 柏琳容 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道3*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种新型硅基混合材料集成电光调制器及其制备方法，该新型硅基混合材料集成电光调制器包括依次层叠排布的衬底层、隔离层和功能层，功能层包括硅波导单元、地电极、信号电极、以及导电溶胶凝胶；波导单元包括调制臂，调制臂一侧通过导电溶胶凝胶与地电极连接，调制臂另一侧通过导电溶胶凝胶与信号电极连接。本发明方案通过引入梳子状结构的导电溶胶凝胶来连接金属电极与调制臂，使电光调制器的响应速度和调制带宽显著提高，同时使光传输损耗显著降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 混合 材料 集成 电光 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉普赛斯电子技术有限公司，未经武汉普赛斯电子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111384554.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：快速滑移虎钳
- 下一篇：一种葡萄中氟唑菌酰胺残留量的检测方法
