[发明专利]一种硅溶胶及其制备方法在审
| 申请号： | 202111376278.5 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN113912070A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 李小龙;李清涛;潘晓峰;肖桂林;朱顺全 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/141 | 分类号： | C01B33/141;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430057 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明涉及半导体化学机械抛光技术领域，具体公开一种结构致密且粒径均一的硅溶胶及其制备方法。本发明的硅溶胶，二氧化硅胶体粒子分散在液体溶剂中，二氧化硅胶体粒子的真实密度为2.1～2.2g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 硅溶胶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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