[发明专利]光波导与显示装置的制作方法及其使用的光罩有效
| 申请号： | 202111369726.9 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN113985700B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 施宏欣 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/00 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 温国杰 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光波导与显示装置的制作方法及其使用的光罩，首先提供光罩，其中光罩具有规律分布的挡光结构，并在第一透明基板上形成第一光硬化树脂层。接着，将光罩设于第一光硬化树脂层上，并以入射光透过光罩与挡光结构照射第一光硬化树脂层，以硬化第一光硬化树脂层至具有呈周期性分布的第一硬化程度与其对应的呈周期性分布的第一折射率。最后，从第一光硬化树脂层上移离光罩，以利用具有呈周期性分布的第一硬化程度的第一光硬化树脂层与第一透明基板形成光波导。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 显示装置 制作方法 及其 使用 | ||
【主权项】：
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