[发明专利]一种射频离子源离子束稳定性判断方法有效
| 申请号： | 202111368757.2 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114188200B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李晓静;聂景江;赵仕燕;吴鹏飞 | 申请（专利权）人： | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/244;H01J37/32 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠卫;李娜 |
| 地址： | 315103 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种射频离子源离子束稳定性判断方法，包括，S1，射频离子源开启时间t满足条件ta≤t≤tb时，每间隔时间△t对离子束进行法拉第扫描并获取对应时刻ti的束流度实际测量数值Ii和峰值束流密度Jmaxi；S2，计算时刻ti的束流分布特征量Hi及体积去除率Vmi；S3，判断束流度实际测量数值Ii、峰值束流密度Jmaxi、束流分布特征量Hi及体积去除率Vmi的偏差是否均满足对应设定范围，若是，则判断为射频离子源离子束稳定性好，否则，稳定性不好。该方法通过对离子束稳定性进行检测，在离子束稳定性不好时，可以调整工艺参数来提高其稳定性，避免采用稳定性不好的离子束进行产品加工，有利于提高产品加工质量，减少次品，从而节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 离子源 离子束 稳定性 判断 方法 | ||
【主权项】：
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