[发明专利]采用微纳加工工艺的气体微泵制备方法及其所得气体微泵在审
| 申请号： | 202111341859.5 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114151317A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 轩伟鹏;倪嘉锋;李懿霖;李文钧;骆季奎 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | F04B45/047 | 分类号： | F04B45/047;F04B39/12;F04B39/06;F04B39/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 陈炜 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用微纳加工工艺的气体微泵制备方法及其所得气体微泵。本发明通过微纳加工工艺实现了气体微泵的加工，解决了气体微泵机械制备方式的尺寸限制的问题，能够将气体微泵的尺寸控制在1‑5mm，进一步实现了气体微泵的小型化，极大地将气体微泵微型化和集成化。此外，相较于传统泵的通过硅粘结剂粘结，本发明中层与层之间利用键合工艺连结，从而大大缓解了因粘结剂造成的器件性能迥异以及不稳定的情况，并在一定程度上提高了器件的密封性能，进一步增大气体的传输速度，开拓了气体微泵在多个领域的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 加工 工艺 气体 制备 方法 及其 所得 | ||
【主权项】：
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