[发明专利]一种基于薄膜的高g值线加速度传感器在审
| 申请号： | 202111303693.8 | 申请日： | 2021-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN114062715A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 范锦彪;张红艳;耿宇飞;高嘉欣;王燕;刘奇峰;田宇丰 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 王思俊 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于传感技术领域，具体涉及一种基于薄膜的高g值线加速度传感器，包括壳体、隔离垫、质量块、敏感元件、基座，质量块和敏感元件以零预紧力的方式固定在基座上；当传感器感受到来自于基座方向的加速度时输出正电荷信号，经后置放大器转化为正电压信号；当传感器感受到来自于壳体方向的加速度时无电荷信号输出，后置放大器也无电压信号输出；这样传感器只敏感侵彻过程中弹体的质心加速度信号，而不敏感弹体的结构响应，很好地解决了背景技术中提到的多层侵彻引信中的技术难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 薄膜 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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