[发明专利]一种用于水平定向结晶法生长晶体的托盘装置及使用方法在审
| 申请号： | 202111275285.6 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN113957516A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 顾跃;丁雨憧;徐扬;田野;陈佳佳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/28 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于水平定向结晶法生长晶体的托盘装置及使用方法，包括导轨和放置于导轨上的托盘，在导轨和托盘之间设有缓冲板；在托盘上表面沿长度方向间隔均匀铺设有多根横置的钨丝线，以使待放置的坩埚通过钨丝线放置在托盘上，导轨由两根导轨杆和均匀安装在两导轨杆之间的多块横板构成，位于两端的横板表面分别间隔均匀固定安装有多个定位柱；在缓冲板和托盘表面彼此一一对应开设有供对应定位柱穿过的定位孔。本发明有效解决了移动导轨时托盘的稳定性，避免托盘与坩埚底部粘接，同时减少托盘与导轨变形，延长托盘与导轨寿命，提高了晶体生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 水平 定向 结晶 生长 晶体 托盘 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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