[发明专利]一种双轴加载的原位力学测试微系统及其制造方法在审
| 申请号： | 202111248482.9 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN114186352A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 王宏涛;段宇;梁春园;卜叶强 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | G06F30/17 | 分类号： | G06F30/17;G06F30/23;G16C60/00;G06F119/14;G06F119/18 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 葛婷婕 |
| 地址： | 311200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及纳米材料力学性能测试技术领域，公开了一种双轴加载的原位力学测试微系统设计方法，包括以下步骤S1：设定用于原位力学加载的超硬材料样品尺寸；S2：设定原位力学测试微系统的几何结构；S3：设定原位力学测试微系统加载区的几何结构；S4：分别建立超硬材料样品和原位力学测试微系统加载区的网格模型；S5：通过有限元素法仿真计算原位力学加载的过程；S6：结合仿真计算的应变云图，校验原位力学测试微系统的可靠性；S7：基于SOI技术，按照校验后的微系统结构进行流片生产。通过优化设计、仿真校验的方法，使所设计的原位力学测试微系统可提供单轴/双轴应力状态，可在更大应变范围内对材料进行调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加载 原位 力学 测试 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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