[发明专利]负压蒸汽发生器在审
| 申请号： | 202111242224.X | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN114183740A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 郭卫强;杨亚东;张景红;翁鹏斌 | 申请（专利权）人： | 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F22B3/04 | 分类号： | F22B3/04;F22B35/00;F22B37/38;F22D1/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 王忠浩 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种负压蒸汽发生器，包括前端管路组件、加热组件、质量流量计、出液管路、外壳组件、PLC控制组件、用于产生负压的真空装置，前端管路组件包括连接头模块、进液管路、第一隔离阀，连接头模块内设置有用于形成喷雾的喷雾组件，加热组件内设置有与PLC控制组件建立连接的高度液位计、加热组件、温度开关，加热组件与温度开关连接；加热组件的输出端通过质量流量计与出液管路连接，出液管路与真空装置连通。采用喷雾组件将液体雾化，给加热带来便利，采用加热组件将雾化液体加热至低温即可通过出液管路通入真空装置中，进而在真空装置的端部输出低温蒸汽，解决了安全性不足、控制不便的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸汽 发生器 | ||
【主权项】：
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