[发明专利]基于柔性机构的宏微耦合次摆线微納划痕实验机

摘要

基于柔性机构的宏微耦合次摆线微納划痕实验机，它涉及一种划痕实验机，具体涉及基于柔性机构的宏微耦合次摆线微納划痕实验机。本发明为了解决微纳加工结构大多采用刚性结构形式，其对装配精度要求很高，且行程小、难以微小化，对复杂表面结构的加工能力不足的问题。本发明包括安装台、试样盘承载组件、试样盘、刀盘安装组件、刀盘和背板；所述试样盘承载组件安装在安装台的上表面，试样盘安装在所述试样盘承载组件上，背板竖直固定在安装台的上表面，所述刀盘安装组件安装在背板的上部，刀盘安装在所述刀盘安装组件上，且刀盘位于试样盘的上方。本发明属于微納加工制造领域。