[发明专利]一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计在审
| 申请号： | 202111211412.6 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN113945732A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 肖暘;胡峰;秦石乔;张宇辰;郑佳兴;王省书 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/097 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 刘伊旸;周晓艳 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计，包括敏感质量块、谐振组件和中部镂空的固定框架，敏感质量块设置在固定框架的镂空区域内，在敏感质量块与固定框架之间沿X轴和Y轴方向分别设置谐振组件，每个谐振组件均包括H型梁、横梁和石墨烯带，横梁位于敏感质量块和固定框架之间且与所在轴方向垂直，横梁两端与固定框架固连，H型梁水平设置且两端分别连接敏感质量块和横梁，石墨烯带的两端分别搭接在横梁和固定框架上且与H型梁的开口端位置对应，在石墨烯带两端的上、下表面均分别设置电极和绝缘层。本申请利用H型梁与横梁组成的微杠杆结构传递惯性力，避免石墨烯与敏感质量块直接连接，减小切向加速度和重力对石墨烯谐振频率的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 烯双轴差 分式 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
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