[发明专利]聚合物树脂及其合成方法、含聚合物树脂的光刻胶、光刻胶的制备方法和使用方法在审

专利信息
申请号: 202111204960.6 申请日: 2021-10-15
公开(公告)号: CN113943391A 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 傅志伟;潘新刚;梅崇余;吴信 申请(专利权)人: 江苏汉拓光学材料有限公司
主分类号: C08F212/14 分类号: C08F212/14;C08F212/08;C08F220/18;G03F7/004
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 张东梅
地址: 221132 江苏省徐州市徐*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种聚合物树脂及其合成方法、含聚合物树脂的光刻胶、光刻胶的制备方法和使用方法。聚合物树脂由占总摩尔百分数为50~70%的第一树脂单体、10~30%的第二树脂单体、10~30%的第三树脂单体和1~10%的第四树脂单体经聚合形成,第一树脂单体、第二树脂单体、第三树脂单体和第四树脂单体的结构通式分别为:其中,Ra1、Rb1、Rc1和Rd1各自独立的选自C1~C4烷基或氢原子,Rb2选自氢原子、叔丁基醚结构或半缩醛结构,Rc2为C1~C4烷基,Rd2为脂环烃酸敏基团。本申请还提供了聚合物树脂的合成方法、含聚合物树脂的光刻胶、光刻胶的制备方法和使用方法。将本申请合成的聚合物树脂,用于化学放大光刻胶,可以有效的改善工艺窗口,提升聚焦深度。
搜索关键词: 聚合物 树脂 及其 合成 方法 光刻 制备 使用方法
【主权项】:
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